A na-eji silicon dị ọcha mee wafer ahụ.A na-ekewakarị n'ime nkọwa 6-inch, 8-inch, na 12-inch, a na-emepụta wafer ahụ dabere na wafer a.Silicon wafers nke a kwadebere site na semiconductor dị ọcha site na usoro dịka ịdọrọ kristal na slicing ka a na-akpọ wafers beca.jiri ha bụ okirikiri udi.Enwere ike ịhazi usoro mmewere sekit dị iche iche na wafer silicon ka ọ bụrụ ngwaahịa nwere njirimara eletrik.ngwaahịa sekit agbakwunyere na-arụ ọrụ.Wafers na-aga n'usoro mmepụta nke semiconductor iji mepụta obere sekit, wee bechapụ, chịkọta ma nwalee n'ime ibe, nke a na-ejikarị na ngwa eletrọnịkị dị iche iche.Ngwa Wafer enwetala ihe karịrị afọ 60 nke mgbanwe teknụzụ na mmepe ụlọ ọrụ, na-etolite ọnọdụ ụlọ ọrụ nke silicon na-achịkwa ma gbakwunye ya na ihe semiconductor ọhụrụ.
A na-emepụta 80% nke ekwentị mkpanaaka na kọmpụta ụwa na China.China na-adabere na mbubata maka 95% nke ibe ya na-arụ ọrụ dị elu, yabụ China na-emefu ijeri US $ 220 kwa afọ iji bubata ibe, nke bụ okpukpu abụọ mbubata mmanụ China kwa afọ.A na-egbochikwa akụrụngwa na ihe niile metụtara igwe fotolithography na mmepụta mgbawa, dị ka wafers, ọla dị elu dị ọcha, igwe etching, wdg.
Taa, anyị ga-ekwu okwu nkenke maka ụkpụrụ nke ọkụ ọkụ UV nke igwe wafer.Mgbe ị na-ede data, ọ dị mkpa ịgbanye ụgwọ n'ime ọnụ ụzọ na-ese n'elu mmiri site na itinye VPP dị elu na ọnụ ụzọ ámá, dị ka e gosiri na foto dị n'okpuru ebe a.Ebe ọ bụ na ụgwọ ịgbanye enweghị ike ịbanye na mgbidi ike nke ihe nkiri silicon oxide, ọ nwere ike ịnọgide na-enwe ọnọdụ ahụ, ya mere anyị ga-enye ụgwọ ahụ ụfọdụ ike!Nke a bụ mgbe achọrọ ìhè ultraviolet.
Mgbe ọnụ ụzọ na-ese n'elu mmiri na-enweta irradiation ultraviolet, electrons nọ n'ọnụ ụzọ na-ese n'elu mmiri na-enweta ume nke quanta ultraviolet, na electrons na-aghọ electrons na-ekpo ọkụ na ume iji banye na mgbidi ike nke ihe nkiri silicon oxide.Dị ka e gosiri na ọnụ ọgụgụ a, electrons na-ekpo ọkụ na-abanye na fim silicon oxide, na-asọba na mkpụrụ na ọnụ ụzọ ámá, ma laghachi na steeti ehichapụrụ.Enwere ike ịrụ ọrụ nhichapụ naanị site na ịnweta irradiation ultraviolet, enweghịkwa ike ihichapụ ya na igwe eletrik.N'ikwu ya n'ụzọ ọzọ, ọnụ ọgụgụ nke ibe n'ibe nwere ike ịgbanwe naanị site na "1" gaa na "0", na n'akụkụ nke ọzọ.Ọ dịghị ụzọ ọzọ karịa ihichapụ dum ọdịnaya nke mgbawa.
Anyị maara na ike nke ìhè na-agbanwe agbanwe na ogologo ogologo nke ìhè.Ka electrons wee ghọọ electrons na-ekpo ọkụ ma si otú ahụ nwee ike ịbanye na ihe nkiri oxide, irradiation nke ìhè nwere obere ogologo wavelength, ya bụ, ụzarị ultraviolet, dị ezigbo mkpa.Ebe ọ bụ na oge ihichapụ na-adabere na ọnụ ọgụgụ nke photons, a pụghị ibelata oge ihichapụ ọbụna na obere wavelengths.N'ozuzu, ihichapụ na-amalite mgbe ogologo wavele dị gburugburu 4000A (400nm).Ọ bụ isi rute saturation gburugburu 3000A.N'okpuru 3000A, ọbụlagodi ma ọ bụrụ na ogologo ikuku dị mkpụmkpụ, ọ gaghị enwe mmetụta ọ bụla na oge ihichapụ.
Ọkọlọtọ maka mkpochapụ UV bụ ịnakwere ụzarị ọkụ ultraviolet nwere ogologo wavelength nke 253.7nm yana ike nke ≥16000 μ W / cm².Enwere ike imecha ọrụ nhichapụ site na oge ikpughe sitere na nkeji iri atọ ruo awa 3.
Oge nzipu: Dec-22-2023